设备

作者： vch13770750

发布于： 2023-04-20

分类：工艺平台

公司生产设备主要包括光刻机，匀胶显影机、等离子刻蚀机、湿法清洗机、炉管、离子注入机、等离子化学气相淀积台、金属溅射台、ALD等，设备主要来源于世界知名半导体设备制造商AMAT、TEL、KLA、ASML等，同时还包括中电科48所、北方华创、华海清科、沈阳拓荆、芯源微、全芯微等国内主流的设备制造商。